د E-EC-ABL-X لړۍ لاینر موټرو پلیټ فارم د اوسپنې کور لاینر موټور سره یوځای د هوایی بییرنګ لارښود ریل طریقه غوره کوي ، کوم چې د دودیز میخانیکي لارښود ریلونو سره بې ساري او مستقیموالی لري ، او په ځانګړي توګه د کوچني مرحلو فاصلو یا الټرا - لپاره مناسب دی. د دقیق موقعیت غوښتنلیک سناریوګانې.دا د دقیق نظری ډیبګ کولو ، نصب کولو او پروسس کولو لپاره غوره غوښتنلیک انتخاب دی.
● د هوا بییرنګ خطي لارښود خورا ښه فلیټ او مستقیم دی
● د اوسپنې اصلي خطي موټور د سیسټم کافي سختۍ او متحرک فعالیت تضمینوي
● خاموش او باثباته عملیات د خورا ټیټ شور سره
● دا د دقیق فعالیت خورا لوړه کچه لري
● د غوښتنلیکونو سکین کولو یا لوړ دقیق موقعیت لپاره مثالی
● Cleanroom مطابقت لري
● د حرکت پلیټ فارم اندازه 210 mm × 100 mm
● د سفر حد له 200 mm څخه تر 500 mm پورې
● 100nm یا 1 nm ته حل کول